1911年，由中国民主革命的先行者孙中山领导的辛亥革命取得的胜利，推翻了两千多年的封建帝制，建立了中华民国。中华民国政府沿袭清制，于民国元年（1912），设绥远城将军，监督节制归化、托克托、萨拉齐、和林格尔、清水河、武川、宁远、兴和、陶林、丰镇、五原、东胜12抚民厅，乌兰察布盟（今乌兰察布市）四子王旗、达尔罕旗（今科尔沁左翼中旗）、茂明安旗（今达尔罕茂明安联合旗）、西公旗（今乌拉特前旗）、中公旗（今乌拉特中旗）、东公旗（今乌拉特后旗），伊克昭盟（今鄂尔多斯）准格尔旗、郡王旗、达拉特旗、乌审旗、鄂托克旗、杭锦旗、札萨克旗7旗及归化城土默特旗。其中12抚民厅仍由山西省归绥道行使行政管理权。

1912年5月，五原县首任知事王卓甫，领后套全境，析五原县所属之乌拉特旗地及武川西界之茂明安旗地隶固阳设治局。民国10年（1921），析县东南界所属之达拉特旗及乌拉特旗地隶包头设治局。民国14年（1925），析县东界所属之乌拉特旗地隶大佘太设治局；析县西界所属之杭锦旗、达拉特旗、乌拉特前旗地隶临河设治局。

1912年，裁归化城副都统，设土默特旗总管公署。是年，武川九区在今召河、坤兑滩、乌克忽洞建乡。宁远县首任知事新建基层政权，将全县设为5个区，辖17个乡。萨拉齐县将村社应事人改为村主任、镇长，将班头改为区兵营长。

1912年，中华民国政府沿袭清制，设热河都统，监督节制卓索图盟（辽宁、河北、内蒙古接壤地区）、昭乌达盟（今赤峰市）及境内所设府县。卓索图盟辖有喀喇沁左、中、右，土默特左、右，唐古特喀尔喀，锡埒图库伦7旗。昭乌达盟辖有巴林左、右，敖汉左、右，翁牛特左、右，克什克腾，阿鲁科尔沁，喀尔喀左翼，扎鲁特左、右，奈曼12旗。热河都统直辖朝阳、赤峰、阜新、平泉、绥东、凌源、建平、林西、开鲁、承德、滦平、围场、隆化、丰宁等府县。设察哈尔都统，统辖察哈尔左、右翼之正蓝、正白、镶白、镶黄、正红、正黄、镶红、镶蓝八旗及太仆寺左翼、太仆寺右翼牛羊群、商都等4牧群；监督节制锡林郭勒盟乌珠穆沁左、右，阿巴嘎左、右，浩齐特左、右，阿巴哈纳尔左、右等10旗。哲里木盟（今通辽市）仍辖科尔沁左翼前、中、后，科尔沁右翼前、中、后，郭尔罗斯前、后，扎赉特，杜尔伯特等10旗，归蒙藏事务局管辖，同时受东三省监督节制，其中科尔沁左、右翼6旗受奉天省监督节制，郭尔罗斯前旗受吉林省监督节制，郭尔罗斯后旗、扎赉特旗、杜尔伯特旗受黑龙江省监督节制。将阿拉善旗（阿拉善和硕特旗）和额济纳旗（额济纳旧土尔扈特前旗）仍单独设立，不设盟，各为独立旗（亦称之为特别旗），直属蒙藏事务局管辖，同时受宁夏护军使节制。

中华民国成立后，民国政府对内蒙古地方行政建制进行了改革。民国2年（1913），将归绥巡警总局改称为归绥警察所，隶属于归绥观察使公署。民国6年（1917），改称绥远警察厅。民国8年（1919），设绥远全区警务处，绥远警察厅隶之。民国17年（1928），撤销警务局，并将归绥警察厅改称为归绥公安局。

1913年，归绥各县巡警营改为警察所，县知事任所长。民国5年（1916），改警察所为警察局。民国17年（1928），又改为公安局。

1913年，裁归绥观察使，改绥远城将军为地方行政长官，辖军民两政，与山西省份治。

民国3年（1914）1月，中华民国政府令：设置绥远特别行政区。将归绥道观察使、副都统改为民政、军政两厅，改任绥远城将军为最高行政长官——绥远都统。

1914年12月15日，民国大总统袁世凯令裁撤归化城副都统，改设土默特总管，并准许土默特财政自收自支。5月18日，民国政府改蒙藏事务局为蒙藏院，直隶大总统。7月，绥远都统审判处成立，各县政府设立承审处。

1914年，绥远特别行政区成立后，辖原归绥道所属12县、乌兰察布盟6旗、伊克昭盟7旗。另改归化城土默特旗为土默特总管旗，增设总管，不设盟，由绥远特别行政区直辖。6月，绥远特别行政区东部的丰镇、凉城、陶林、兴和4县划归察哈尔管辖后，始设绥远道，设道尹，管辖绥远特别行政区其余8县。

中华民国成立后，民国政府加强了地方行政建制，民国6年（1917）春，武川县成立保卫团，团丁达240余人；秋，凉城县农会成立；冬，归绥县农务会成立。民国7年（1918），凉城县成立了由120名团丁组成的保卫团，均是骑兵。是年，察哈尔特别行政区将两翼牧场清丈局改为宝昌招垦设治局。

民国8年（1919），隶属于呼伦贝尔索伦左翼镶黄、正蓝2旗之陈巴尔虎蒙古（系由1732年由布特哈迁来）分出，设置陈巴尔虎旗，仍归呼伦贝尔副都统管辖。

民国政府的建立，使今内蒙古形势发生了变化，其建置也在变化。民国8年（1919）12月21日，呼伦贝尔代理副都统致电北京政府要求废除1915年中俄签订的《呼伦贝尔条约》，撤销呼伦贝尔特别区域。翌年1月28日，呼伦贝尔副都统贵福呈请取消呼伦贝尔特别区域，并取消中俄会定条件。中华民国政府批示照准，并发布撤销呼伦贝尔特别区域的政令，保留呼伦贝尔副都统公署，呼伦贝尔副都统专辖民族事务，归黑龙江省节制。

民国8年（1919）8月，绥远特别行政区将五原县东界所辖之乌拉特东公旗垦地和武川县西界所辖茂明安旗垦地划出设立固阳设治局。设治局下设民政、财粮、建设、教育等科，固阳地区设立6个行政区。

民国初年，今内蒙古的地方行政建制在不断变化。民国9年（1920）1月，中华民国政府批准在呼伦贝尔地方增设呼伦县、胪膑县、室韦县和奇乾设治局。2月5日，民国政府改原设的呼伦贝尔兵备道为呼伦贝尔善后督办兼交涉局，管理新设三县一局及治边18卡伦和外交事务，督办公署驻海拉尔。2月，根据中华民国政府颁布的《地方警察厅官制》和《各省整顿警政大纲》，呼伦贝尔地区先后组建呼伦贝尔警察厅和呼伦、室韦、奇乾4县（局）警察所，呼伦贝尔警察厅受呼伦贝尔善后督办的监督节制。是年8月，经中华民国政府批准，建立布里亚特旗，隶属呼伦贝尔善后督办公署，归黑龙江省节制。10月，划出丰镇县、平地泉、凉城、兴和部分地区成立集宁设治局。

民国12年（1923）3月，析萨拉齐县、土默特旗及乌拉特中旗、乌拉特后旗及达拉特旗各一部，置包头设治局。

民国13年（1924）2月，建鲁北设治局。

民国14年（1925），察哈尔特别区把设在正白旗、镶白旗南部草原之宝昌设治局改为县，并将太仆寺左翼牧群东部、西部和东北部划归辖属；将正蓝旗大部、正白旗、镶白旗划给沽源县属垦种。

民国15年（1926）1月，将固阳设治局改为固阳县，辖原乌拉特后旗垦地和武川县所辖茂明安旗垦地等地区，隶绥远道，为三等县。同时，改包头设治局为县，辖原包头镇、乌拉特前后二旗和达拉特旗部分地区，隶绥远道。2月，济沁河稽垦局和扎兰屯稽垦局合并，建立雅鲁设治局。7月，天山设治局成立，隶阿鲁科尔沁旗，治所道德庙。

民国16年（1927）10月，国民政府批准改临河设治局为临河县，隶绥远特别行政区。

民国17年（1928）9月5日，国民党中央政治会议第153次会议决议：批准热河、察哈尔、绥远3特别行政区改为行省。每省设政府委员5人～7人。热河省会设于承德，察哈尔省会设于万全，绥远省会设于归绥。绥远省政府正式成立前称省临时政府。是月17日，国民政府正式通知建省，设省政府，委员制，省主席1人，主理省事。绥远省政府驻地归绥县城。10月20日，国民政府任命徐永昌为绥远省政府主席，但商震部师长李培基先临时代理政事。

民国17年（1928）9月，察哈尔省政府正式成立，省会改设在张家口。国民政府对其所辖区进行了调整，将原直隶省口北道所辖的宣化、怀来10县划归察哈尔省；原兴和道所属的丰镇、凉城、兴和、陶林及集宁5县划归新成立的绥远省；撤销兴和道建制，置省主席为最高长官。察哈尔省共辖16县、18旗、4牧群。

民国18年（1929）1月1日，绥远省政府正式成立。省会设在归绥县城，首任主席徐永昌。绥远省辖归绥县、托克托县、和林格尔县、清水河县、武川县、萨拉齐县、包头县、固阳县、宁远县、丰镇县、陶林县、兴和县、集宁县、五原县、临河县、东胜县。辖乌兰察布盟的四子王旗、西公旗、中公旗、东公旗、达尔罕旗、茂明安旗，伊克昭盟的札萨克旗、郡王旗、鄂托克旗、准格尔旗、达拉特旗、乌审旗、杭锦旗，另辖土默特旗和大佘太设治局。共计14旗、16县、1个设治局。1月，国民政府改雅鲁设治局为雅鲁县，辖境相当于今扎兰屯地区。11月，临河县政府成立，为三等县，增划13个乡，全县计24乡、2镇。12月，李培基任绥远省主席。

民国19年（1930）1月，绥远省乌兰察布盟、伊克昭盟13旗联合办事处在归绥市成立。8月，大佘太设治局改称安北设治局。是年，绥远省政府在鄂托克旗陶乐地区设立沃野设治局，后改为陶乐县，绥远军政委员会于1950年7月22日，同意陶乐县归属宁夏回族自治区管辖。

民国20年（1931）8月18日，傅作义代理绥远省主席。年底被正式任命为绥远省主席。是年，归绥警察局改为省会警察局，在归绥市设一、二、三、四分局。

民国时期，在日本侵略者的策划下，在我国东北诞生了一个傀儡政权——满洲国。民国21年（1932）3月1日，满洲国成立。3月9日，溥仪在长春宣布就职。定年号为“满洲国”大同元年。仍用公历日月。满洲国国务院下设兴安局，专管蒙旗事务。3月30日，满洲国公布《兴安省官制》，分东、南、北3个分省，并任命各分省省长。同时，满洲国取消哲里木盟名称及建制，成立兴安南分省，归新设立的兴安局管辖。兴安南分省省会在郑家屯，下辖7旗，即科尔沁左翼前、中、后3旗，科尔沁右翼前、中、后3旗及扎赉特旗，所属哲里木盟的郭尔罗斯前旗划归吉林省，郭尔罗斯后旗划归新设的滨江省，将通辽县改隶新设的奉天省，并将兴安镇复称王爷庙。

1932年6月，伪满洲国在呼伦贝尔地区设立兴安北分省，归兴安局管辖，省会驻海拉尔。其辖地的行政建制和区划也进行较大调整：撤销呼伦贝尔副都统衙署和呼伦贝尔市政筹备处；原新巴尔虎右翼正黄、正红、镶红、镶蓝4旗合并成立新巴尔虎右翼旗，旗政府驻阿尔坦额莫勒；原新巴尔虎左翼正白、正蓝、镶白、镶黄4旗合并成立新巴尔虎左翼旗，旗政府驻阿牧古郎；原索伦左翼正白、镶黄2旗合并成立索伦左翼旗；原索伦右翼4旗合并成立索伦右翼旗，同时还辖有陈巴尔虎旗、室韦县、奇乾县和海拉尔、满洲里市。

满洲国的建立，使其地区的行政建制发生了一系列变化。民国22年（1933）年初，撤销西布特哈总管公署和雅鲁县，在西布特哈原辖区分别建立莫力达瓦旗、阿荣旗、巴彦旗和布特哈旗。是年，在原室韦县和奇乾县境建立额尔古纳左翼旗和额尔古纳右翼旗。翌年，兴安东分省改为兴安东省，兴安北分省改为兴安北省。又将索伦左翼旗、索伦右翼旗、布里亚特旗、额鲁特旗合并为索伦旗。7月，满洲国决定撤销天山县建制，并入阿鲁科尔沁旗；并撤销林东县建制，并入巴林左旗。

民国22年（1933）3月，昭乌达盟全境被日本侵略军占领，满洲国取消昭乌达盟的名称及建制，在西拉木伦河以北地区成立兴安西分省，由伪满洲国兴安总署管辖。分省省会驻开鲁县城，下辖6旗2县，即克什克腾旗、巴林左旗、巴林右旗、扎鲁特左旗、扎鲁特右旗、阿鲁科尔沁旗、林西县、开鲁县。相继撤销经棚、天山、林东、鲁北4县，并将原昭乌达盟的敖汉左旗、敖汉右旗、敖汉南旗、翁牛特左右2旗、奈曼旗和喀尔喀左翼等7旗，划归热河省公署管辖。

1933年7月26日，乌兰察布盟、锡林郭勒盟、伊克昭盟盟长、副盟长及部分旗王公在百灵庙召开中共内蒙古自治区委党史和地方志研究室网站一次会议，筹备内蒙古自治事宜，讨论通过《内蒙古自治政府组织法》。规定自治政府总揽内蒙古各盟部旗的自治权。以原有的内蒙古各盟部旗的领域为统辖范围，除国际军事、外交事项由党中央处理外，内蒙古一切行政俱依本自治政府法律命令行之。

民国23年（1934）1月16日，经黄绍竑修改的《蒙古自治办法》11条，在国民党中央政治局委员会上讨论通过。此11条不仅没有改善盟旗的政治、经济地位，反而削弱了盟旗原有权益。为此，1月24日，在南京的蒙古族人士举行示威游行，并到国民党中央党部、国民政府、行政院等处请愿，激烈抨击黄绍竑的做法。国民党中央迫于情势收回《蒙古自治办法》11条。

随后，国民党中央政治会议讨论通过拟定的《蒙古自治办法》8项，决定成立内蒙古地方自治政务委员会，否定德穆楚克栋鲁普提出的成立内蒙古自治政府的要求。同时，将各盟公署改称为盟政府，旗公署改称为旗政府；察哈尔部改称盟，以昭一律，其系统照就。

为此，百灵庙蒙政会（蒙古地方自治政务委员会）于1934年4月23日在乌兰察布盟百灵庙镇成立。此机构直隶于国民政府行政院，并受蒙古地方自治指导长官的监督指导。国民政府任命云端旺楚克为委员长，索特那木拉布坦、沙克都尔扎布为副委员长，德穆楚克栋普鲁为秘书长，各盟旗均派代表参加，国民政府派何竞武监誓。下辖锡林郭勒盟、乌兰察布盟、察哈尔盟右翼4旗、伊克昭盟、土默特旗、阿拉善旗、额济纳旗。

民国23年（1934）12月1日，满洲国公布《省官制》，将兴安总署升格为蒙政部，统辖内蒙古东部及东北地区的蒙政事务。原兴安总署所辖兴安东、南、西、北4分省正式升格为兴安东、南、西，北4省。蒙政部除管辖兴安4省外，还辖有吉林、滨江、龙江等省所属郭尔罗斯前旗、郭尔罗斯后旗、杜尔伯特旗、依克明安旗。

满洲国成立后，实行地方行政制度改革，于1934年底，将热河省的朝阳、阜新2县及土默特左右2旗划归新成立的锦州省。又将热河省管辖的翁牛特旗、奈曼旗划归兴安省管辖。

民国时期，国民政府明令蒙政会察、绥分治，并于1935年任命乌兰察布盟盟长即中公旗巴宝多尔济、伊克昭盟副盟长阿拉坦鄂其尔为绥境蒙政会委员长。并成立绥远蒙古地方自治指导长官公署，与绥境蒙政会合署办公。阎锡山兼任长官，石华严兼任参赞。

民国25年（1936），在张北成立察哈尔盟公署，卓特巴扎普任盟长。

民国中期，中国共产党在鄂尔多斯地区发展较快，并建起自己的组织。1936年2月，中共乌审旗委、乌审旗苏维埃政府在陕西省靖边县寇家洼宣告成立，赵治元任中共乌审旗委书记，黄居章（后为田万生）任乌审旗苏维埃政府主席。中共中央认为在乌审旗设县不妥，明令撤销。不久又恢复中共乌审旗工委，书记为张德生。为实行内蒙古地方自治政策，国民党政府于1936年7月27日，公布了《察哈尔省境内蒙古各盟旗地方自治政务委员会暂行组织大纲》，并废止《蒙古地方自治政务暂行组织大纲》。

民国25年（1936），中共绥远省工委由太原迁到安北设治局扒子补隆和硕公中垦区，书记李衡。不久，中共绥远工委改为中共绥西工委，移至包头。

民国25年（1936）4月24日，在日本侵略军的操纵下，德穆楚克栋鲁普召集内蒙古封建上层王公在乌珠穆沁右旗召开第一次蒙古大会，会议决定把蒙古军总司令部改称为蒙古军政府。5月12日，德穆楚克栋鲁普在化德县将蒙古总司令部改为蒙古军政府，改元易帜，采用成吉思汗纪元，挂黄、蓝、白、赤4色7条旗。蒙古军政府下辖锡林郭勒盟10旗和察哈尔盟8旗8县。同时组织蒙古军2个军。10月，中共鄂托克旗三段地工作委员会成立，书记金生华。三段地成立苏维埃政府，主席为高谦，并组织起一支抗日自卫队。

1936年，伪满洲国沿用民国时期审判制度。赤峰县和宁城县等地在县政府设承审处，负责审判初级或地方管辖的一审民事和刑事案件。阿鲁科尔沁旗、巴林左旗、巴林右旗、克什克腾旗、林西县、翁牛特左翼旗分别在旗县公署设置审判厅，由县长或旗长担任审判官，负责审理一审案件。兴安西省公署设审判厅，审理二审案件。

民国26年（1937）抗战爆发，9月中旬，绥远省政府主席傅作义奉阎锡山令南下保晋，率省机关和所属部队撤出归绥市进入山西省境内。10月14日，日本侵略军占领归绥。

日本侵略军占领归绥后，日本关东军参谋长东条英机乘飞机抵归绥，主持召开第二次蒙古大会，成立蒙古联盟自治政府。按照日本关东军的旨意，推选云端旺楚克为主席，德穆楚克栋鲁普为副主席兼政务院长，李守信为蒙古军总司令，并改绥远省会归绥为厚和豪特市。蒙古联盟自治政府下辖乌兰察布盟、伊克昭盟一小部分及察哈尔盟、锡林郭勒盟以及新设的巴彦塔拉盟。

1937年10月27日，在日伪政权策划下，蒙疆政府巴彦塔拉盟公署在归绥成立，辖13县（武川、固阳、陶林、凉城、丰镇、集宁、兴和、和林格尔、萨拉齐、托克托、清水河、巴彦（归绥改名）、包头），5旗（察哈尔右翼正黄、正红、镶红、镶蓝旗和土默特旗），人口为1 450 072人。其中，蒙古族为35 000人。盟长为补英达赖。

1937年，在日伪政权的策划下，日伪和林格尔县公署、凉城县公署、武川县公署、丰镇县公署、萨拉齐县公署相继成立。

1937年冬，国民党在伊克昭盟成立伊克昭盟保安长官公署、蒙旗宣慰使公署、察绥蒙旗党务特派员办事处、达拉特旗民众组训处等机构。国民党政府军事委员会在额济纳旗设立军事专员公署，其主要任务是办理军事、政治事务，并维护地方安全。

抗战时期，中国共产党在内蒙古发展较快，先后建起自己的组织、政权机构和军事机构。民国27年（1938）12月，在固阳县巴总窑成立了抗日政权机构——绥远省动委会和区动委会。同时，武川县八区动委会也在大青山区成立。是年，八路军大青山支队在厚和市（归绥）北部水磨沟一带建立起大青山区的第一个县级政权——武归县（武川、归绥县部分）动委会。

民国28年（1939）初，绥东动委会在凉城县碾房窑子村成立。2月，大丰左（大同、丰镇、左云县部分地区）县抗日民主政府成立。为扩大抗日根据地，3月，中共绥远特委决定：以武川县可可以力更镇为中心，将武川县分为武川、归武、武固、武归4县。12月，又在绥西成立萨固县（萨拉齐、固阳部分）、萨托（萨拉齐、托县部分）县，并在绥南成立凉城县。

民国28年（1939）7—8月，固阳县抗日游击政府成立，任克定为第一任县长。8月，中共归凉（归绥、凉城县部分）县抗日民主政府成立。9月，晋察绥总动委会改名为八路军绥蒙总动委会，代行抗日民主政府职能，下辖武归、萨固、萨托、归武、陶林、凉城等抗日民主政府，后又成立绥西、绥中、绥南专员公署。年底，中共在绥西成立武归县、萨固县、萨托县，绥中成立了归武县、陶林县，绥南成立了凉城县等第一批抗日民主政权。

抗战期间，日本侵略者为扩大势力范围，更好地侵略中国，日本兴亚院会议于1939年9月1日举行，会议决定：蒙古联盟自治政府、察南自治政府、晋北自治政府合并改组为蒙疆联合自治政府，首府设在张家口市，撤销蒙疆联合委员会。蒙疆联合自治政府辖锡林郭勒盟、察哈尔盟、乌兰察布盟、巴彦塔拉盟、伊克昭盟和察南政厅（由察南自治政府改称）、晋北政厅（由晋北自治政府改称），统称为蒙疆区。日本侵略军还在大佘太成立安北县公署，隶巴彦塔拉盟。

1940年后，抗日民主政权机构不断扩大。2月，中共晋西北军政委员会决定建立晋绥边区抗日民主政权，设晋西北、绥察（大青山）2个行署、8个专区、1个察哈尔绥东游击区办事处、40余个县民主政府，并成立了中共和右清（和林、右玉、清水河）县抗日民主政府，辖托克托县部分地区、和林格尔县地区，清水河喇嘛湾一带。同时，成立了托和清抗日游击政府。3月，绥西动委会改为绥西专员公署。至1945年12月间，先后隶属战动总会晋察边区工作委员会、晋绥第三游击区行政公署驻绥察办事处、绥察行政公署、塞北区行政公署、绥蒙政府，先后由李维中、杨植霖、杨叶澎等人负责。下辖武归县、萨托县抗日游击政府。截至4月份，据统计：从1937年抗日战争以来，晋绥地区被敌军占领而中共建有政权者共42个县，其中内蒙古有12个县。

民国29年（1940）1月1日，日伪公布《旗制》和《旗官制》，取消县名称，将乌丹县并入翁牛特左翼旗，赤峰县并入翁牛特右翼旗，建平县、宁城县并入喀喇沁中旗，新惠县并入敖汉旗；并规定各旗旗长由蒙古王公担任，设日本参事官副之，以掌实权。

为进一步开展抗日斗争，开辟抗日根据地，中共在大青山区的归武县小西梁村召开了绥察代表会议。会议决定成立晋绥第三游击区行政公署驻绥察办事处（简称绥察行政办事处），姚喆、杨植霖任正、副主任，贾力更任蒙政处处长，下辖绥西、绥中、绥南行政专员公署和绥东游击区。建立萨拉齐、固阳、武归、陶林、归武、托和清、归凉、丰集、丰凉等9个抗日民政府。

在此基础上，中共于1941年4月15日决定：将中共绥察行政办事处改组为绥蒙行政公署，杨植霖任主任，苏谦益任副主任，下辖4个专员公署：即绥西专署、绥中专署、绥南专署、绥东游击专署。